
| Grotelių pikis | 20 µm |
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| Šiluminis plėtimasis | 10,6 x 10⁻⁶ | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Rezoliucija | 0,5–1–5 μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Pakartojamumas | ±1 žingsniu | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Maksimalus greitis m/min | 60 (5 μm); 20 (1 μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Išvesties tipas | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Maksimalus pagreitis | 20 m/s² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Apsauga | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Maitinimo šaltinis | 60 mA maks. | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Fazės poslinkis | 90°±5°elektrinis | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Darbinė temperatūra | 0°–50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Laikymo temperatūra | -20°–80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Drėgmė | 100 % nesuspaustas |